(eve) Das neue Hochvakuum-Eckventil der Serie XLJ der SMC Deutschland GmbH, Egelsbach, trägt dazu bei, in Vakuumkammern einen möglichst molekülfreien Raum beziehungsweise ein Hochvakuum zu erzeugen. Die Besonderheiten des Hochvakuum-Eckventils sind:
- ein robustes Aluminiumgehäuse
- Features, wie ein Belüftungsventil
Das angebaute Belüftungsventil steigert die Effizienz des jeweiligen Vakuumsystems: Ist das Ventil während der Evakuierung beziehungsweise im Normalbetrieb des Systems noch geschlossen, öffnet es sich bei ausgeschalteter Pumpe oder einem Netzausfall und bringt den Druck im Pumpeninneren wieder auf atmosphärisches Niveau. So wird verhindert, dass Hydrauliköl in die Vakuumkammer fließt. Dank elektrischer Ansteuerung geht der Einsatz des Hochvakuum-Eckventils mit einer verbesserten Installationsflexibilität einher, während das bereits angebaute Belüftungsventil den Montageaufwand erspart.
Vorteile des Gehäuses
Zu den Vorzügen eines Aluminiumgehäuses gehören
- ein niedrigeres Gewicht
- eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber aggressiven Medien wie Fluorgas
- eine exzellente Wärmeleitfähigkeit.
Letztere sorgt für eine homogene Temperaturverteilung im Ventilinneren, was die Ablagerung von Prozessgasen reduziert. Außerdem verzichtet das Ventilgehäuse gänzlich auf Schwermetalle wie Nickel oder Chrom. Das minimiert die Verunreinigung berührender Medien und optimiert beispielsweise die Qualität von Endprodukten, die durch Schwermetalle kontaminiert werden könnten. Die minimale Ausgasung des Aluminiumgehäuses verkürzt dabei die Zeit der Evakuierung oder ermöglicht den Einsatz einer Vakuumpumpe mit geringerer Leistung.
Anwendungsgebiete des Hochvakuum-Eckventils
Die vielfältigen Vorteile des neuen Hochvakuum-Eckventils mit Belüftungsfunktion, eröffnen Einsatzmöglichkeiten in zahlreichen Industrien:
- Elektronikindustrie: Die Serie XLJ kommt unter anderem in Vorprozessen auf dem Gebiet der Halbleiterindustrie zum Einsatz, beispielsweise bei Ätz-, Plasmaätz-, Sputter- oder CVD-Anlagen.
- Lebensmittelindustrie: Das Hochvakuum-Eckventil steigert dort die Produktivität etwa von Gefriertrocknungsanlagen.
- Medizintechnik: Die Serie sorgt für einen präziseren Durchblick bei Elektronenmikroskopen. Daneben wird sie in Sauerstoffreduzierungsanlagen, Vakuumfiltersystemen oder vakuumisolierter Ausrüstung eingesetzt.
- Automobilindustrie: Das Ventil punktet auf dem Feld Produktion, so beispielsweise bei Aluminium-Beschichtungsanlagen für Scheinwerfer, in Elektrostrahlschweißmaschinen oder Leckanzeigern/-testern.
SMC Deutschland GmbH
Boschring 13–15
D-63329 Egelsbach
Tel.: +49 (0) 61 03 / 402 – 0
E-Mail: info@smc.de
Website: www.smc.de
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