PI miCos stellt den kleinsten Linearversteller der Q-Motion-Serie vor: Der Q-521 ist nur 21 mm breit und verfügt über einen integrierten hochauflösenden Linearencoder. Der Miniaturversteller erzielt so eine Schrittweite von bis zu 2 nm und eine Wiederholgenauigkeit von bis zu 25 nm über den gesamten Stellbereich. Den Q-521 gibt es für Stellwege von 12, 22 und 32 mm. Die Positionsmessung erfolgt wahlweise mit einem inkrementellen optischen Encoder mit 1 oder mit 4 nm Auflösung. Open-Loop-Versionen des Linearverstellers stehen ebenfalls zur Verfügung. Für Anwendungen unter Vakuumbedingungen ist der Q-521 auch in Versionen für 10-9 hPa erhältlich. Das Antriebsprinzip des Miniaturverstellers beruht auf einem piezomotorischen Trägheitsantrieb. Dies ermöglicht die sehr kompakte Abmessung, die hohe Auflösung und die hohe Geschwindigkeit. Durch die Selbsthemmung im Stillstand benötigt der Piezomotor keinen Strom und erwärmt sich nicht. Er hält die Position mit einer Haltekraft von 1 N. Die Positionsregelung der Q-521-Serie ist auf schnel- le Punkt-zu-Punkt-Bewegungen ausgelegt. Sie erfolgt mit dem Motion Controller E-871. I
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