Die Antriebseinheit für eine spezielle Vakuumanwendung besteht aus einer innenverzahnten Edelstahl-Kugeldrehverbindung mit den Maßen 1230 mm × 1091 mm × 27,5 mm inklusive Montageplatte und Antriebsritzel. Die Rodriguez GmbH, Eschweiler, liefert diese Baugruppe im Rahmen ihrer anwenderspezifischen Systemlösungen (Value Added Products) aus einer Hand. Dank einer zweilagigen Reinraumverpackung erfüllt die Antriebseinheit die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie.
Lagereinheit lässt sich problemlos im Ultrahochvakuum verbauen
Das verwendete Sonderlager ist insofern besonders, als dass es eigentlich etwas zu dünn ist für eine Kugeldrehverbindung. Einerseits ergab sich das aus der filigranen Konstruktion der Maschine, in der die Lagereinheit verbaut ist. Andererseits konnte so die vom Anwender vorgegebene Gewichtsbeschränkung eingehalten werden. Die Kugeldrehverbindung besteht aus härtbarem, korrosionsbeständigem Edelstahl 1.4034 und verfügt über gehärtete Zahnflanken, die einen erhöhten Schutz vor Verschleiß gewährleisten. Keramische Wälzkörper ermöglichen eine Minimalmengenschmierung mit einem speziellen Vakuumfett. So lässt sich die Lagereinheit problemlos im Ultrahochvakuum verbauen. Nicht zuletzt gewährleistet ein kundenspezifisches Lagerspiel, dass die speziellen Anforderungen der Anwendung erfüllt werden.
Fortschritt in der Antriebstechnik
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Lieferung der Antriebseinheit in zweilagiger Reinraumverpackung
Die anwenderspezifische Systemlösung wird in einer zweilagigen Reinraumverpackung geliefert. Das bedeutet, dass Rodriguez eine erste Verpackung im Reinraum anbringt. Im Anschluss erfolgt eine normale zweite Verpackung. Bei Anlieferung wird die oberste/normale Verpackung entfernt und beim Anwender im Reinraum dann die zweite Verpackung. So wird sichergestellt, dass es zu keinerlei Verschmutzung oder Fremdkörpern während des Transportes kommt, die sich später negativ auf die Anwendung auswirken könnten. bec
Detaillierte Informationen zu den Kugeldrehverbindungen:
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Hier gibt es mehr Informationen zu den Value Added Products:
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Kontakt:
Rodriguez GmbH
Ernst-Abbe-Straße 20
52249 Eschweiler
Tel.: 02403 780–0
E-Mail: info@rodriguez.de
Website: www.rodriguez.de
Geschäftsführender Gesellschafter: Gunther Schulz
Geschäftsführerin: Nicole Dahlen