Mit dem Modell AHR stellt THK eine neue Miniaturführung mit verstärkten und widerstandsfähigen Kugelumläufen vor. Diese ermöglicht einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb von bis zu 5 m/s bei einer maximalen Beschleunigung von bis zu 300 m/s². Dadurch werden die Anforderungen nach gesteigerter Produktivität in der Halbleiterfertigung erfüllt.
Leichtgängiger Lauf mit geringem Verschiebewiderstand
Weiterhin ermöglicht die Technologie von THK mit den vier im Führungswagen integrierten Kugelumläufen und den Kreisbogen-Laufrillen mit Zwei-Punkt-Kontakt der Kugeln einen besonders leichtgängigen Lauf der Wagen mit geringem Verschiebewiderstand.
Für Anwendungen im Back-End der Chipproduktion
Mit diesen Eigenschaften eignet sich die vierreihige Miniaturführung hervorragend für Anwendungen im Back-End der Chipproduktion, wie z.B. Die Bonding und Wire Bonding. Der Typ AHR ist von den Maßen her kompatibel mit marktüblichen zweireihigen Miniaturführungen, die Gotikbogen-Laufrillen verwenden. Die Standardgrößen 9, 12 und 15 sind mit jeweils drei verschiedenen Wagentypen verfügbar.
