Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon
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Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon

Abstands- und Dickenmessung
Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon

Weißlicht-Interferometer Micro-Epsilon
Industrieoptimiert und mit einer hohen Genauigkeit – so präsentieren sich die neuen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon
Bild: Micro-Epsilon
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(ik) Industrieoptimiert und mit einer Genauigkeit, die ein hohes Präzisionslevel in der optischen Abstands- und Dickenmessung schafft – so präsentieren sich die neuen Weißlicht-Interferometer der Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG, Ortenburg. Die Systeme erzielen stabile Messergebnisse im Subnanometerbereich: Je nach Anwendung stehen drei verschiedene Ausführungen der InterferoMeter von Micro-Epsilon zur Verfügung, die Messwerte mit einer Auflösung von bis zu kleiner als 30 Pikometer erreichen: das IMS5400-DS für hochpräzise und industrielle Abstandsmessungen, das IMS5400-TH für genaue Dickenmessungen sowie das IMS5600-DS mit vakuumtauglicher Ausführung für Abstandsmessungen in Sub-Nanometer-Genauigkeit.

Die Ausführungen der InterferoMeter von Micro-Epsilon im Detail

Das IMS5400-DS liefert in der industriellen Abstandsmessung absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Die kompakten und robusten Sensoren erlauben zudem eine Integration in beengten Bauräumen.

Für die Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien wird das IMS5400-TH eingesetzt. Die Messung erfolgt mit nur einem Sensor unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch ein Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können darüber hinaus auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden.

Und das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

Ausstattung der Weißlicht-Interferometer

Die InterferoMeter bestehen aus einem Controller, einem Sensor sowie einem Lichtleiterkabel. Die entsprechenden Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden, weshalb sie mit einem robusten Metallgehäuse und besonders flexiblen Kabeln ausgestattet sind.

Über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und Ethercat ist eine einfache Anbindung möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein benutzerfreundliches Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.


Kontakt:

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
Tel.: +49 8542 / 168 – 0
E-Mail: info@micro-epsilon.de
Website: www.micro-epsilon.de

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