Luftlager-Positioniertische haben sich in vielen Applikationen bewährt, z. B. in der Metrologie, bei der Justierung optischer Fasern, in der Halbleiterfertigung und der Waferinspektion, bei präzisen Scanning-Anwendungen oder Positionieraufgaben in Reinräumen. Die Luftlager bieten hier viele Vorteile im Vergleich zu mechanischen Lagern. Sie arbeiten reibungsfrei, es entsteht kein Abrieb, die Geschwindigkeit der vibrationsfreien Bewegung lässt sich sehr genau regeln und die Wiederholgenauigkeit liegt im Nanometerbereich.
Für die Piglide Luftlager-Positioniertische, die mit linearen oder rotativen Servomotoren mit Direktantrieb und hochauflösenden Encodern arbeiten, bietet Physik Instrumente (PI) jetzt modular aufgebaute Hochleistungs-Motion-Controller an, die sich für vier, sechs oder acht Achsen eignen. Die Multi-Achs-Controller basieren auf Hardware von ACS, einem internationalen Hersteller moderner mehrachsiger Motion-Controller, der seit 2017 zur PI Gruppe gehört. Die Controller unterstützen deshalb den ACS-ServoBoost-Algorithmus, der eine extrem stabile Servoregelung ermöglicht, die unempfindlich gegenüber Rauschen oder Änderungen im System ist. Die Motion-Controller-Serie A-82x integriert Controller, Treiber und Netzteile in einem kompakten 4-HE-19“-Rack, kann aber auch für OEM-Anwender in anderen Aufbauvarianten angeboten werden. Sie liefern je nach Anzahl der angesteuerten Achsen eine Dauerleistung von 1100 bis 2000 W, bei bis zu 3900 W Spitzenleistung.
Zu den Standardoptionen gehören individuell konfigurierbare Eingänge für inkrementelle Sinus/Cosinus- und Absolut-Encoder (Interpolationsfaktor von 16.384), die das Biss-C-Datenprotokoll verwenden. Im internen Flash-Speicher lassen sich Bewegungsprogramme und Parameter abspeichern. Die Controller können deshalb nicht nur über einen externen PC gesteuert, sondern auch im Stand-alone-Modus betrieben werden. Dann ist lediglich zum Programmieren und Starten ein PC notwendig. Die erforderliche Software gehört zum Lieferumfang. bec
