Für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung hat Steinmeyer Mechatronik ein kompaktes XYZ-Positioniersystem entwickelt. Es ermöglicht dynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.000 x 800 mm (angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm.
µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung
In der horizontalen XY-Ebene ermöglichen integrierte Linearmotoren Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10 kg ausgelegt, die Höhe kann dabei je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500 mm variieren. Die Profilschienenführungen sind direkt auf dem Granit befestigt. Das garantiert laut Anbieter µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung.
Viele individuellen Anpassungsmöglichkeiten
Die Lieferung des Positioniersystems erfolgt mit Gestell und abgestimmten Schwingungsisolatoren, vermessen und in Betrieb genommen sowie mit integrierter Sicherheitstechnik nach Maschinenrichtlinie. Die Steuerung wird individuell auf die Steuerungsarchitektur des Kunden angepasst, eine bewegungssynchrone Triggerung der kundenspezifischen Messsensorik ist möglich. Durch den Gantry-Aufbau ist eine Integration in Taktstraßen und das Anreihen mehrerer solcher Portale realisierbar.
Durch eine zusätzliche Verkleidung mit integrierter Absaugung erfüllt das XYZ-System die Anforderungen für die Reinraumklasse ISO 6. Darüber hinaus können weitere kundenspezifische Anpassungen vorgenommen werden, unter anderem in Bezug auf die Verfahrwege, Längenkombinationen, Verkabelung und Steuerung. Für die Inspektion komplexerer Geometrien ist eine Kombination mit Hebetischen und/oder Drehachsen möglich. (kf)
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