Mit der Telica-Plattform hat Etel ein Doppel-Portal-Bewegungssystem für die Halbleiterfertigung entwickelt. Das System ermöglicht eine Kombination aus hohem Durchsatz und Genauigkeit. Etel entschied sich für NH-Linearführungen von NSK. Sie sind bekannt für ihre Präzision und Wiederholgenauigkeit bei niedrigen und hohen Verfahrgeschwindigkeiten. Über die Einstellung der Vorspannung können Reibung und Langzeitsteifigkeit bestimmt werden.
Die Linearführungen sind mit dem von NSK entwickelten LG2-Fett ausgestattet. Im Vergleich zu herkömmlichen Fetten erreicht man eine verringerte Partikelemissionsrate, eine längere Lebensdauer sowie niedrigere und stabilere Verschiebekräfte.
Das System liefert sehr hohe Durchsatzgeschwindigkeiten von bis zu 10.000 UPH (Einheiten pro Stunde) bei einer typischen Flip-Chip-Die-Bonding-Anwendung und eine Positioniergenauigkeit von 1 µm. Bisherige konventionelle Lösungen erreichen etwa 7.500 UPH und 3 µm Genauigkeit.
Bewegungen in drei Freiheitsgraden
Die mechanische Architektur der Telica-Plattform besteht aus einem Doppelportalsystem, das Bewegungen in drei Freiheitsgraden (x-, y- und z-Richtung) für eine Gesamtzahl von acht gesteuerten Achsen ermöglicht. Durch die Verwendung der NH-Führungen von NSK erreichen die Telica-Systeme Verfahrgeschwindigkeiten von 120 m/min in der x- und y-Achse sowie 60 m/min in der z-Achse. Die maximale Beschleunigung beträgt 4 g (x-Achse), 6 g (y-Achse) und 7,5 g (z-Achse), die x-y-Wiederholgenauigkeit nach einer Bewegung der z-Achse liegt bei ±0,25 µm oder besser.
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