Sensoren & Messtechnik

Profil- und Rauheitsmessungen an fast jedem Material

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Das 3D-Laserscanningmikroskop der VK-X-Serie von Keyence vereint die Fähigkeiten von REM und kontaktlosen Rauheitsmessgeräten mit der einfachen Bedienung eines optischen Mikroskops. Das System mit AI-Scan-Funktion verfügt über eine 0,5 nm feine Höhenachsenauflösung mit einem Vergrößerungsbereich, der zwischen 200- und 24 000-fach liegt. Ein einziger Mausklick der AI-Scan-Funktion erlaubt dem Benutzer seine Probe abzubilden und zu vermessen. Ein Kurzwellenlaser scannt über die Probenoberfläche und liefert Daten zu Profilverläufen, Rauheit und Dicke von Schichten. Selbst stark abgeschrägte Flächen sind kein Hindernis. Die Kombination eines Kurzwellenlasers mit einem 16-bit Photomultiplier ermöglicht es dem Anwender sowohl Bilder und Messdaten von fast jedem beliebigen Material zu erfassen, als auch Dickenvermessungen von transparenten Schichten oder Beschichtungen durchzuführen.

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