Elektrische Antriebstechnik

Präzise Bewegungen im nm-Bereich

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Positioniersystem | Das dreiachsige Piezostellelement Tritor 320 CAP von Piezosystem Jena ist ein Aktuator für hochgenaue Positionierungen. Er wurde unter Einsatz von FEM-Technologie entwickelt, mit dem Ziel, genaue Positionierung und herausragende Dynamik selbst bei hoher Belastung zu erreichen. Das mit Festkörpergelenken designte Element erlaubt einen spiel- und reibungsfreien Einsatz. Der Tritor 320 CAP erreicht durch den Einsatz kapazitiver Sensoren eine hervorragende Präzision, die sich in einer hohen Reproduzierbarkeit und einer ausgezeichneten Linearität und Stabilität widerspiegelt. Das Piezostellelement eignet sich besonders für Anwendungsgebiete in der Halbleiterindustrie, Oberflächenanalyse oder Maskeninspektion. Seine Vorteile sind:

  • präzise und hochdynamische Bewegungen
  • belastbar bis zu 200 N
  • 1 nm Auflösung in closed-loop
  • Hub bis zu 320 µm
  • Vakuum-, Tieftemperatur- oder nicht magnetisierbare, Versionen auf Anfrage
  • optional mit Apertur 150 mm x 150 mm erhältlich I
Piezosystem Jena, Tel.: 03641 6688-0, info@piezojena.com
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