Positioniersystem ist nanometergenau unter Volllast - KEM

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Positioniersystem ist nanometergenau unter Volllast

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Das Zwei-Achsen Piezopositioniersystem PXY 500 AP von Piezosystem Jena besitzt eine große Innenöffnung von 100 x 100 mm und wurde für die Implementierung an Mikroskopen und Belichtungssystemen konzipiert. Bei einer Bauhöhe von nur 15 mm und Außenabmessungen von 185 x 185 mm beträgt der Hub je Achse 700 µm. Die spezielle Aktor-Parallelkinematik garantiert eine bestmögliche Führungsgenauigkeit. Die Antriebselemente im monolithischen Festkörpergelenksystem erzeugen eine vollkommen spielfreie Bewegung. Das Überschwingverhalten wird durch steuerbare Zu- und Rückstellkräfte aktiv minimiert. Definierte Positionen können auch unter Volllast mit Nanometergenauigkeit in Millisekunden angefahren werden, was für Highspeed-Scans ein wesentliches Kriterium ist.

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