Zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von Linearmesstischen wurde von Piezosystem Jena ein spezielles Antriebselement mit der Bezeichnung „Mici“ entwickelt. Es handelt sich um einen piezoelektrischen Antrieb der es ermöglicht, den Mikrometerschraubenantrieb des Messtisches im Bereich von bis zu 180 µm mit einer Genauigkeit <35 nm zu positionieren. Dabei wird der Piezoantrieb an der Schnittstelle zwischen Mikrometerschraube und Messtisch montiert und mit beiden mittels Klemmung verbunden.
KEM 462
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