Hochauflösendes ka pazitives Meßsystem - KEM

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Hochauflösendes ka pazitives Meßsystem

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Mit dem Stellsystem PXY 101 NV/CAP kombiniert piezosystem jena seine bewährte “piezostage-technology” mit hochauflösenden kapazitiven Meßsystemen für den nm-Bereich. Diese Technologie ermöglicht die Kombination von Wegübersetzungssystem, spielfreier Bewegung und hochgenauer Führung auf der Basis von Festkörpergelenken in Parallelogrammanordnung. In Verbindung mit dem modularen Verstärkersystem ENV erreicht das Stellsystem eine Linearität von 0,05% und eine absolute Positioniergenauigkeit von 5nm. Eine freie rechteckige Öffnung von 100 x 100 mm2 ist besonders für Anwendungen in Verbindung an Mikroskopen interessant.

Der Hub in x und y beträgt 100 µm, die max. Betriebsspannung 150V.
E KEM 479
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